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Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 8. Литографические процессы, V. F. Martynov, T. E. Bazarova
- Lingua
- Pubblicato
- 1989
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- (In brossura)
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- Titolo
- Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 8. Литографические процессы
- Lingua
- Russo
- Autori
- V. F. Martynov, T. E. Bazarova
- Editore
- Vysšaja Škola
- Pubblicato
- 1989
- Formato
- In brossura
- ISBN10
- 5060010805
- ISBN13
- 9785060010800
- Serie