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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System, Ernst-Christian Richter
- Lingua
- Pubblicato
- 2022
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- (In brossura)
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- Titolo
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
- Sottotitolo
- DE
- Lingua
- Tedesco
- Autori
- Ernst-Christian Richter
- Editore
- utzverlag GmbH
- Pubblicato
- 2022
- Formato
- In brossura
- Pagine
- 88
- ISBN13
- 9783831686353
- Serie
- Descrizione
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System