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Focusing on ion beam applications, the book provides foundational knowledge of ion beam physics and technology. It delves into the intricate physics of ion-solid interactions, exploring processes such as ion implantation, ion beam synthesis, sputtering, and nano-patterning. This comprehensive guide serves as a valuable resource for understanding the role of ion beams in contemporary materials research.
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Ion Beams in Materials Processing and Analysis, Bernd Schmidt, Klaus Wetzig
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- 2012
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