Vakuumbeschichtung

Verfahren und Anlagen

Autori

• Uwe Behringer

Parametri

• Arte / Cultura
• Sulla letteratura
• Tecnologia e Ingegneria

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Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).

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Lingua: Tedesco

Pubblicato: 2013

(In brossura)