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Zur Analyse von Fehlerquellen in Strahlengängen von Weißlichtinterferometern werden Untersuchungen auf Basis geometrischer Strahlverfolgung durchgeführt. Mittels dreidimensionaler Modelle realer Strahlengänge in einer virtuellen Umgebung werden über Strahlverfolgung die optischen Wege im System protokolliert. Unter Beachtung der notwendigen Methoden zur Berücksichtigung der Weißlichtinterferenz und der Kohärenz-Bedingungen werden Simulationen von Messvorgängen durchgeführt.
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Simulation und Analyse geometrischer Einflüsse in elektronisch durchstimmbaren Weisslicht-Interferometern, Friedel Koerfer
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- 2016
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