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Ein Beitrag zur Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer kinetischer Elemente mit parallelen Platten unter besonderer Berücksichtigung der Dämpfung

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Ein Beitrag zur Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer kinetischer Elemente mit parallelen Platten unter besonderer Berücksichtigung der Dämpfung, Knut Büttner

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1996
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