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Untersuchung eines induktiv angeregten Hochfrequenz-Plasmastrahls und seine Qualifizierung für die Kohlenstoffbeschichtung

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Untersuchung eines induktiv angeregten Hochfrequenz-Plasmastrahls und seine Qualifizierung für die Kohlenstoffbeschichtung, Susanne Spindler

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2002
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