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Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet

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Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet, Thomas Arnold

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2005
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