Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 8. Литографические процессыT. E. BazarovaEsauritoAvvisami
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 7. Элионная обработкаO. S. MoriakovEsauritoAvvisami
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 10. Контроль качестваJ. G. SemenovEsauritoAvvisami
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники 9. СборкаO. S. MoriakovEsauritoAvvisami
