Herstellung von Metall-Silizium-Multischichten mit dem MOCVD-VerfahrenFrank HamelmannEsauritoAvvisami
Untersuchung zum Staubungsverhalten bei der Handhabung disperser Stoffsysteme und die Weiterentwicklung etablierter Messverfahren zur Bestimmung der StaubfreisetzungFrank HamelmannEsauritoAvvisami
